導電薄膜之雷射微細加工技術研發

標題:	導電薄膜之雷射微細加工技術研發 Laser Micromachining of the Conduction Films
作者:	郭正次 KUO CHENG-TZU 國立交通大學材料科學工程研究所
關鍵字:	選擇性沈積;選擇性蝕刻;微細加工;薄膜;Selective deposition;Selective etching;Micromachining;Thin film
公開日期:	1996
官方說明文件#:	NSC85-2216-E009-010
URI:	http://hdl.handle.net/11536/96199 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=206853&docId=36545
顯示於類別：	研究計畫