低溫液相沈積二氧化矽薄膜之研究發展

標題:	低溫液相沈積二氧化矽薄膜之研究發展 Investigations and Developments Room-Temperature Liquid-Phase Deposition of SiO/sub 2/ Film
作者:	葉清發國立交通大學電子工程研究所
公開日期:	1995
官方說明文件#:	NSC84-2215-E009-054
URI:	http://hdl.handle.net/11536/96391 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=172143&docId=29236
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