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國立陽明交通大學機構典藏
瀏覽 的方式: 作者 龍文安
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標題
作者
1995
0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳化模擬及其研製
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學研究所
1992
0.35 微米新型相轉移光罩之研究
周岳霖
;
Chou,Yueh Lin
;
龍文安
;
Loong,Wen An
;
應用化學系碩博士班
2000
193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2000
193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學系
2000
193奈米微影用正規與高透射率嵌附層材料之探討及減光型相移圖罩應用之模擬
林政旻
;
Cheng-ming Lin
;
龍文安
;
Dr. Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2002
193奈米微影用鉬矽氧氮高透射率嵌附式減光型相移圖罩材質之研究
張曜宇
;
Chang Yao-yu
;
龍文安
;
Dr. Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2002
193奈米微影解像度增進技術---高透射率嵌附層之研製、應用探討與模擬
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2004
193奈米微影高透射率嵌附層應用於透射率控制圖罩之模擬、材料、蝕刻與性質探討
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2006
193奈米高透射率嵌附層之研製與作為濕浸式微影光學鄰近效應修正用散條之性質探討
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2005
193奈米高透射率嵌附層之研製與應用於橫電偏振光、偏軸發光、減光型相移圖罩組合之濕浸式微影成像特性模擬探討
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
1996
248奈米深紫外光微影成像製程寬容度最適化
陸震偉
;
Lu,Chen-wei
;
莊亨立
;
龍文安
;
Dr. Henry Tan
;
Dr. Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
1990
CCl F 及CHF 氣體在活性離子蝕刻系統中對Si及SiO 表面之蝕刻及成膜行為
陳俊麟
;
CHEN,JUN-LIN
;
龍文安
;
LONG,WEN-AN
;
應用化學系碩博士班
1991
Plasma etching of Si and polycrystalline silicon with CCl□ F and its mixture gases
王芳崇
;
Wang, Fang-Chong
;
龍文安
;
Long, Wen-An
;
應用化學系碩博士班
1988
Poly(triallylphenylsilane)+Bisazide與Hexamethoxymethylmelamine+Poly (p-hydroxystyrene) 二種負型阻劑系統性質研究
王清帆
;
WANG, GING-FAN
;
龍文安
;
LONG, WEN-AN
;
應用化學系碩博士班
1988
Poly(triallylphenylsilane)+Bisazide與Hexamethoxymethylmelamine+Poly (p-hydroxystyrene) 二種負型阻劑系統性質研究
王清帆
;
Wang, Qing-Fan
;
龍文安
;
Long, Wen-An
;
應用化學系碩博士班
1990
Poly(tutene-1 sulfone)作為深紫外光正型阻劑及其氮電漿表面改質之研究
張憲武
;
ZHANG,XIAN-WU
;
龍文安
;
LONG,WEN-AN
;
應用化學系碩博士班
1986
Polyformyloxystyrene光阻微影成像性質之研究
洪維民
;
HONG, WEI-MIN
;
龍文安
;
LONG, WEN-AN
;
應用化學系碩博士班
1992
Study on anew type phase shifting mask for 0.35μm pattern transfer
周岳霖
;
Zhou, Yue-Lin
;
龍文安
;
Long, Wen-An
;
應用化學系碩博士班
1990
交聯反應對乾式顯影表面選擇性強化之影響
朱政宇
;
ZHU,ZHENG-YU
;
龍文安
;
LONG,WEN-AN
;
應用化學系碩博士班
1991
以CF□/CHF□/O□或CF□/NF□/O□對二氧化矽與經離子佈植的多晶矽之乾式蝕刻
劉岳良
;
LIU, YUE-LIANG
;
龍文安
;
LONG, WEN-AN
;
應用化學系碩博士班