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國立陽明交通大學機構典藏
瀏覽 的方式: 作者 Loong Wen-an
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標題
作者
1995
0.25-0.35微米圖案轉移用石英蝕刻調細式相移光罩之最佳化模擬及其研製
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學研究所
2000
193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2000
193奈米微影用嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學系
2002
193奈米微影解像度增進技術---高透射率嵌附層之研製、應用探討與模擬
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2004
193奈米微影高透射率嵌附層應用於透射率控制圖罩之模擬、材料、蝕刻與性質探討
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2006
193奈米高透射率嵌附層之研製與作為濕浸式微影光學鄰近效應修正用散條之性質探討
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2005
193奈米高透射率嵌附層之研製與應用於橫電偏振光、偏軸發光、減光型相移圖罩組合之濕浸式微影成像特性模擬探討
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
2001
以實驗設計法探討高透射率減光型相移圖罩最適化
林賢雲
;
Lin Hsien-yun
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2002
多孔性低介材SiOC研究與探討
陳尹川
;
Chen Yin-chuan
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
1999
嵌附式減光型相移圖罩之模擬與製備
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
1998
嵌附式減光式相移光罩之模擬與製備
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學系
1997
嵌附減光式相移光罩吸光相移層研製
龍文安
;
Loong Wen-an
;
交通大學應用化學系
1996
嵌附調細式相移光罩研製
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學研究所
2007
模擬探討以散條提升32奈米線幅禁止間距焦深
黃志全
;
Huang Chih-chuan
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2001
氮電漿處理低介材HSQ應用於銅金屬製程之薄膜特性研究
陳建帆
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2003
減光型相移圖罩材質研究與二孔偏軸發光成像模擬
林志鴻
;
Lin Chih-hung
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2008
相同劑量下45奈米節點微影全程禁止間距及圖罩偏差增大因子之改善與相關薄膜研製
龍文安
;
Loong Wen-an
;
國立交通大學應用化學系(所)
1993
緣邊式相移光罩之模擬與研製
葉青樺
;
Yeh Chin-hwa
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
2001
鉬矽氧嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
陳玉蓉
;
Chen Yu-rung
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班
1998
鉻矽氮類嵌附式減光型相移圖罩之研製與模擬
呂奎亮
;
Leu Kwei-liang
;
龍文安
;
Loong Wen-an
;
應用化學系碩博士班